ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 幅203mm DAU-20
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| メーカー | ULVAC |
|---|---|
| 型番 | DAU-20 |
| JANコード | 4571133302379 |
ULVAC・DAU-20の商品仕様 詳細
- 【特徴】
●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。 - 【仕様】
●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
●到達圧力(Pa):200
●吸気口径(mm):10
●電源(V):単相100
●全幅(mm):161
●全長(mm):327
●全高(mm):217
●寸法(mm):161×327×217
●3段排気方式
●接ガス部耐食性
●一台から異電圧に別作対応
●到達圧力(KPa):0.2
●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
●ロードロック室排気。
●吸着搬送、ハンドリング。
●レーザーガス循環・排気用。
●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。 - 【サイズ区分】
● 通常…ヤマト運輸でのお届けとなります。サイズ区分について
日・祝日特価
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